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半导体装备
行业解决计划半导体装备

BUPERMANN：用于半导体装备的行星减速机

半导体加工领域 ，实践证实半导体生产装备对螺旋伞齿轮细密伺服减速器要求非？量 。

追求高强度、高精度、直角转向、高负载能力和刚性 。

BUPERMANN通过与客户细密相助 ，澳门人巴黎人6123产品获得了一连的刷新 。

BUPERMANN90度直角伺服减速器在半导体行业领域的应用优势 ，能够凭证详细需求提供标准产品 ，举行个性化设置 ，运行可靠、准确的解决计划 。

半导体装备应用需求

半导体装备高精度定位、高减速比、90度换向等应用 ，要求螺旋伞齿轮减速机拥有高减速比的情形且精度高 。

我们有适用于半导体装备的减速机：

BPGV系列AGV专用减速器

  • 减速比

    15-100

  • 额定扭矩

    45-330 Nm

  • 回程间隙

    3-8 arcmin

  • 输入转数

    3000-6000 rpm

  • 径向力

    2250-5500 N

结构尺寸

BPT系列伺服转向器

  • 减速比

    1-5

  • 额定扭矩

    12-3200 Nm

  • 回程间隙

    6 arcmin

  • 输入转数

    1700-7500 rpm

  • 径向力

    900-18000 N

结构尺寸

BPTA系列伺服转向器

  • 减速比

    1

  • 额定扭矩

    20-900 Nm

  • 回程间隙

    10 arcmin

  • 输入转数

    1000-2000 rpm

  • 径向力

    1100-19500 N

结构尺寸

BPTS系列高细密伺服转向器

  • 减速比

    2-5

  • 额定扭矩

    9.5-1200 Nm

  • 回程间隙

    6 arcmin

  • 输入转数

    1000-2000 rpm

  • 径向力

    1100-24100 N

结构尺寸

BPTAW系列直角行星减速器

  • 减速比

    3-100

  • 额定扭矩

    13-1200 Nm

  • 回程间隙

    3-10 arcmin

  • 输入转数

    2000-3000 rpm

  • 径向力

    1100-19500 N

结构尺寸

BPTSM系列高细密伺服直角减速机

  • 减速比

    2-10

  • 额定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程间隙

    4-6 arcmin

  • 输入转数

    2000 rpm

  • 径向力

    1100-45000 N

结构尺寸

BPTSW系列高细密伺服直角减速器

  • 减速比

    6-300

  • 额定扭矩

    9.5-2150 Nm

  • 回程间隙

    3-10 arcmin

  • 输入转数

    2000-4500 rpm

  • 径向力

    1100-45000 N

结构尺寸

BPHN系列中空旋转平台

  • 减速比

    10-180

  • 额定扭矩

    5-650 Nm

  • 回程间隙

    ≤1 arcmin arcmin

  • 输入转数

    ≤20 arcsec rpm

  • 径向力

    30-800 Kg N

结构尺寸

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